微波谐振腔的主要参数有谐振频率、品质因素等。谐振频率ω取决于腔体结构尺寸和工作模式。品质因素Q是描述微波谐振腔的重要参数，它直接决定了频率选择性、带宽和阻尼因子等性能参数，可定义为：谐振腔的损耗仅取决于腔体内部损耗（金属导体损耗和介质损耗）。

在实际应用时，微波谐振腔与外电路相连，其有载品质因素QL为：式中Qe是无损耗谐振腔在负载情况下的外部品质因素。